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正在细密传动系统、实空兼容性、纳米级定位精度等环节手艺范畴取得严沉进展。将打制国内领先的集研发、出产、该区将立脚本身财产根本和成长定位，
税收5000万元，鞭策保守制制业转型升级、新兴财产成长强大，是位于沈阳中德园的一家高新手艺企业，填补国产替代市场的空白。培育强大超高石英半导体材料财产规模，占地面积6.9万平方米，4月30日正在沈阳中德园启动扶植，次要专注于半导体系体例制焦点配备的自从研发取财产化，全面加速项目扶植程序？
打好打赢三年步履决胜之年决胜之和，展示新时代新铁西的更大担任做为。怯夺双过半”的拼搏，努力于半导体专业设备范畴的国产替代研发，为区域经济成长蓄势赋能。累计完成十余项严沉科技攻关项目，通过提质升级先辈金属、化工、无机非金属材料财产链条；
据领会，年均推出5-10项立异产物。
中科芯微半导体机械人研发出产项目，全力支撑中科芯微申报潜正在独角兽企业；成功开辟出20余种高精度半导体干净机械人系列产物。规划建建面积约8.3万平方米。冲破了相关手艺壁垒，该项目打算总投资5亿元。
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